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走査型電子顕微鏡(SEM)

最終更新日:2023年6月29日
設備ID NU-004
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
設備名称 走査型電子顕微鏡(SEM) (Scanning Electron Microscope (SEM))
設置機関 名古屋大学
設置場所 名古屋大学東山キャンパス
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JSM-7500F
キーワード 表面電子顕微鏡観察
表面元素分析
仕様・特徴 ・電界放出形電子銃 ・二次電子分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV) ・倍率:×25~1,000,000 加速電圧:0.1~30kV ・ジェントルビーム
・オプション:リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-004
    走査型電子顕微鏡(SEM)
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