走査型電子顕微鏡(SEM)
最終更新日:2023年6月29日
設備ID | NU-004 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
設備名称 | 走査型電子顕微鏡(SEM) (Scanning Electron Microscope (SEM)) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-7500F |
キーワード | 表面電子顕微鏡観察 表面元素分析 |
仕様・特徴 | ・電界放出形電子銃 ・二次電子分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV) ・倍率:×25~1,000,000 加速電圧:0.1~30kV ・ジェントルビーム ・オプション:リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS) |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-004 |