エキシマ手動レーザーカッター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-912 |
|---|---|
| 分類 |
組立・パッケージング > その他 膜加工・エッチング > レーザー加工 |
| 設備名称 | エキシマ手動レーザーカッター (Ecimer manual laser cutter) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知ビル |
| メーカー名 | 浜松ホトニクス (Hamamatsu Photonics) |
| 型番 | L7270MH |
| キーワード | レーザ加工 |
| 仕様・特徴 | 266nmのレーザー光により指定した点の薄膜（ポリイミド等）を除去できる。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-912 |
