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エキシマ手動レーザーカッター

設備ID	UT-912
分類	組立・パッケージング > その他膜加工・エッチング > レーザー加工
装置名称	エキシマ手動レーザーカッター (Ecimer manual laser cutter)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知ビル
メーカー名	浜松ホトニクス (Hamamatsu Photonics)
型番	L7270MH
キーワード	レーザ加工
仕様・特徴	266nmのレーザー光により指定した点の薄膜（ポリイミド等）を除去できる。