ブレードダイサー
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-906 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ブレードダイサー (Dicing Saw) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | ディスコ (DISCO) |
| 型番 | DAD3650 |
| キーワード | ダイサー |
| 仕様・特徴 | 二軸スピンドルダイサー この「二軸機」によれば、四角く切り出したチップ端部を斜めに切りおとすこと(ベベルカット)が可能になり、塗布したレジストの平坦性が担保される効果が期待でき、チッププロセスの収率向上に大きなプラスとなります。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-906 |