ブレードダイサー
設備ID | UT-906 |
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分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
装置名称 | ブレードダイサー (Dicing Saw) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | ディスコ (DISCO) |
型番 | DAD3650 |
キーワード | ダイサー |
仕様・特徴 | 二軸スピンドルダイサー この「二軸機」によれば、四角く切り出したチップ端部を斜めに切りおとすこと(ベベルカット)が可能になり、塗布したレジストの平坦性が担保される効果が期待でき、チッププロセスの収率向上に大きなプラスとなります。 |