マニュアルウエッジボンダ―
設備ID | UT-902 |
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分類 | 組立・パッケージング > ダイボンダ・ワイヤボンダ |
装置名称 | マニュアルウエッジボンダ― (Manual wire bonder) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | WEST・BOND (WEST・BOND) |
型番 | 7476D |
キーワード | ボンダー |
仕様・特徴 | アルミ線(または金)超音波接合 ウエッジ針によって、超音波で配線を刷り込むように接合できる、「何にでもよくつく」ボンダーです。普段は25μmφのアルミ線を常用しています。 Zeissの三眼顕微鏡(高精細CCDカメラ付き)により、デバイスの写真や簡単な動画を取得することもできます。 |