比抵抗測定器
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-860 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 比抵抗測定器 (Specific electrical resistance tester) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 国際電気アルファ（日立国際電気） (Hitachi Kokusai Electric Inc.) |
| 型番 | VR-120S |
| キーワード | 比抵抗測定 |
| 仕様・特徴 | ・測定可能ウェハーサイズ：76.2-300mm ・ 0.95秒／1点、1分／49点の高速処理 ・浅いイオン注入層、薄い金属膜他の高精度測定 ・シート抵抗分布が一目で分かるインテリジェントマッピング ・ Windowsライクな画面で操作性が飛躍的に向上 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-860 |
