Elite300 附属電気特性測定装置
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-857 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | Elite300 附属電気特性測定装置 (Electronic measurement system attaced to Elite 300) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | Cascade (Cascade) |
| 型番 | Elite 300 |
| キーワード | 電気特性 |
| 仕様・特徴 | B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック。MicroChamber、AttoGuard、AttoGuard、および PureLine テクノロジーを備えた半自動プローブ ステーション プラットフォーム。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-857 |
