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12インチプローバー

設備ID	UT-856
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	12インチプローバー (12inch Prober)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	Cascade (Cascade)
型番	Elite300
キーワード	プローバ
仕様・特徴	シールドチャンバー付き

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