12インチプローバー
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-856 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 12インチプローバー (12inch Prober) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | Cascade (Cascade) |
| 型番 | Elite300 |
| キーワード | プローバ |
| 仕様・特徴 | シールドチャンバー付き |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-856 |
