高精細電子顕微鏡
| 設備ID | UT-855 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 高精細電子顕微鏡 (Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope (SEM)) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | Regulus 8230 |
| キーワード | 走査電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 分解能は1 kVで0.7 nm。最高倍率は200万倍の電界放出電子源を用いた高分解能走査型電子顕微鏡 |
