オージェ分光分析装置
| 設備ID | UT-854 |
|---|---|
| 分類 |
状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > オージェ電子分光 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | PHI680 |
| キーワード | オージェ、組成分析 |
| 仕様・特徴 | 元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。 アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。 |
