機械特性評価装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-851 |
|---|---|
| 分類 | 機械特性 > 動的機械分析 |
| 設備名称 | 機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | ポリテック (Polyltec) |
| 型番 | MSA-500 |
| キーワード | 機械振動測定 |
| 仕様・特徴 | Polytec 振動解析装置 MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ（1MHz）、Z方向はレーザードップラー振動計（1.5MHz）またはレーザ変位計（24MHz）にて測定可能です。 測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-851 |
