機械特性評価装置
設備ID | UT-851 |
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分類 | 機械特性 > 動的機械分析 |
装置名称 | 機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | ポリテック (Polyltec) |
型番 | MSA-500 |
キーワード | 機械振動測定 |
仕様・特徴 | Polytec 振動解析装置 MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。 測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。 |