形状・膜厚・電気特性評価装置群
最終更新日：2024年4月4日
| 設備ID | UT-850 |
|---|---|
| 分類 |
光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム、武田先端知ビル一般実験室(枝番8) |
| メーカー名 | ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence) |
| 型番 | ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm) |
| キーワード | 観察 段差測定 膜厚測定 機械特性 |
| 仕様・特徴 | 枝番1：顕微鏡 枝番2：触針段差計 枝番3：光干渉式膜厚測定装置 枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。 枝番5：分光エリプソメータ― 枝番6：レーザー顕微鏡 枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影) 枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-850 |
