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プラズマ表面改質装置

設備ID	UT-805
分類	表面処理・洗浄 > プラズマ処理
装置名称	プラズマ表面改質装置 (Plasama Surface Modificaton Equipment)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	サムコ (SAMCO)
型番	AQ-50
キーワード	親水化、疎水化
仕様・特徴	特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。