UVオゾンクリーナー
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-804 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | UVオゾンクリーナー (UV ozone cleaner) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | サムコ (SAMCO) |
| 型番 | UV-1 |
| キーワード | 表面洗浄、オゾン |
| 仕様・特徴 | レジスト等のアッシング処理が可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-804 |
