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UVオゾンクリーナー

設備ID	UT-804
分類	表面処理・洗浄 > プラズマ処理
装置名称	UVオゾンクリーナー (UV ozone cleaner)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	サムコ (SAMCO)
型番	UV-1
キーワード	表面洗浄、オゾン
仕様・特徴	レジスト等のアッシング処理が可能

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