イナートガスオーブン
設備ID | UT-801 |
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分類 | 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
装置名称 | イナートガスオーブン (Inert Gas Oven) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | 光洋サーモシステム (Koyo Thermo Systems) |
型番 | INH-9CD |
キーワード | 加熱炉、アニール、拡散 |
仕様・特徴 | 窒素ガスを導入して、窒素雰囲気でプログラムした通りにベークできる電気炉。600℃まで昇温可能。残留ガス濃度20ppm (カタログスペック) |