走査型オージェ電子分光分析装置
| 設備ID | NM-208 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > オージェ電子分光 |
| 装置名称 | 走査型オージェ電子分光分析装置 (Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟111号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JAMP-9500F |
| キーワード | 対象試料：主として金属、半導体物質、無機材料 分析用途： ・表面（nm〜μmオーダー）の定性分析、定量分析、化学状態分析、線分析など） ・試料深さ方向分析（試料表面から数百nmレンジ） ・試料断面分析（断面試料ホルダー利用） ・電子及びイオンの極低角度入射分析（傾斜試料ホルダー利用） |
| 仕様・特徴 | ・ショットキー電界放射電子銃 ・空間分解能：<8 nm ・加速電圧：0.5～30 kV ・照射電流：0.1～100 nA ・測定元素：Li～U ・最大試料サイズ：14 x 14 x 5 mm ・半球型アナライザー搭載 |
