クリーンドラフト潤沢超純水付
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-800 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > ウェット処理 リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | |
| 型番 | |
| キーワード | ドラフト、超純水、レジスト現像 |
| 仕様・特徴 | 化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」 クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、 クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。 全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。 窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-800 |
