電子線顕微鏡観察用コーター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-714 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 走査型顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | 電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | Gatan (Gatan) |
| 型番 | PECS |
| キーワード | 帯電防止 |
| 仕様・特徴 | スパッタによりカーボン膜など観察用の薄膜を堆積できます |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-714 |
