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電子線顕微鏡観察用コーター

設備ID	UT-714
分類	成膜装置 > スパッタリング（スパッタ）走査型顕微鏡 > その他
装置名称	電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	Gatan (Gatan)
型番	PECS
キーワード	帯電防止
仕様・特徴	スパッタによりカーボン膜など観察用の薄膜を堆積できます