8元電子線蒸着装置
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-712 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 8元電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | エイコー (EIKO) |
| 型番 | EB-380 |
| キーワード | EB蒸着、電子線蒸着 |
| 仕様・特徴 | 蒸着材料を一度に8種類装填できる多様な実験を支援する電子ビーム蒸着。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-712 |
