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8元電子線蒸着装置

設備ID	UT-712
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	8元電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	エイコー (EIKO)
型番	EB-380
キーワード	EB蒸着、電子線蒸着
仕様・特徴	蒸着材料を一度に8種類装填できる多様な実験を支援する電子ビーム蒸着。