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パリレンコーター

設備ID	UT-709
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) 表面処理・洗浄 > その他
装置名称	パリレンコーター (Parylene Coater)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	米国SCS社 (Specialty Coating Systems)
型番	PDS2010
キーワード	絶縁膜、パリレン
仕様・特徴	8インチまでの成膜が可能。