超臨界銅成膜装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-708 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > めっき |
| 設備名称 | 超臨界銅成膜装置 (Supercritical Flude (SCF) Deposition) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 自作 (DIY) |
| 型番 | |
| キーワード | 超臨界成膜 |
| 仕様・特徴 | 自作2㎝角まで。東京大学霜垣・百瀬研究室との協力による。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-708 |
