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超臨界銅成膜装置

設備ID	UT-708
分類	成膜装置 > めっき
装置名称	超臨界銅成膜装置 (Supercritical Flude (SCF) Deposition)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	自作 (DIY)
型番
キーワード	超臨界成膜
仕様・特徴	自作2㎝角まで。東京大学霜垣・百瀬研究室との協力による。