電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NM-207 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 設備名称 | 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟122号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8500F |
| キーワード | 対象試料：主として金属，半導体物質，無機材料 分析用途： ・金属，半導体，無機材料等の表面（サブμm～数μm）の元素分析（定性分析、定量分析、半定量分析、検量線分析、線分析、面分析など） |
| 仕様・特徴 | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：1～30 kV ・照射電流：10 pA ～500 nA ・測定可能元素：Be～U ・最大試料サイズ：100 x 100 x 20 mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-207 |
