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4インチ高真空EB蒸着装置

設備ID	UT-700
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	4インチ高真空EB蒸着装置 ( Ultra high vacuum evaporator)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	自作 (DIY)
型番	NSPⅡ
キーワード	EB蒸着、電子線蒸着
仕様・特徴	東大拠点で独自設計・自作した蒸着装置で、いわゆる抵抗加熱蒸着と電子線（EB）加熱蒸着との両方がが可能。主な材料はAu,Cr,Al。