共用設備検索

クロスセクションポリッシャー

設備ID	UT-610
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	クロスセクションポリッシャー (Cross Section Polisher)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	日本電子㈱ (JEOL)
型番	IB15930CP
キーワード	SEM、試料作製
仕様・特徴	アルゴンプラズマにより断面出しが容易になる。位置合わせ顕微鏡あり。電子顕微鏡撮影用サンプル作製に最適。