クロスセクションポリッシャー
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-610 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | クロスセクションポリッシャー (Cross Section Polisher) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 日本電子㈱ (JEOL) |
| 型番 | IB15930CP |
| キーワード | SEM、試料作製 |
| 仕様・特徴 | アルゴンプラズマにより断面出しが容易になる。位置合わせ顕微鏡あり。電子顕微鏡撮影用サンプル作製に最適。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-610 |
