汎用NLDエッチング装置
設備ID | UT-608 |
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分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
装置名称 | 汎用NLDエッチング装置 (Neutral Loop Discharge (NLD) plasm dry etching system) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
型番 | NLD-5700Si |
キーワード | プラズマエッチング |
仕様・特徴 | ガラスの深掘りが可能なニュートラルループディスチャージ(NLD)エッチング装置。当面は技術補助のみ。 |