枚葉式自動リフトオフ装置
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-509 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | 枚葉式自動リフトオフ装置 (Automatic liftoff system) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | エイ・エス・エイ・ピイ (ASAP) |
| 型番 | LOA34-8-5-09 |
| キーワード | リフトオフ |
| 仕様・特徴 | リフトオフを自動で行い成功確立が上がります。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-509 |
