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枚葉式自動リフトオフ装置

設備ID	UT-509
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	枚葉式自動リフトオフ装置 (Automatic liftoff system)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	エイ・エス・エイ・ピイ (ASAP)
型番	LOA34-8-5-09
キーワード	リフトオフ
仕様・特徴	リフトオフを自動で行い成功確立が上がります。