スプレーコーター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-507 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | スプレーコーター (Spray Coater) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | アクティブ (ACTIVE) |
| 型番 | ACT-300AⅡS |
| キーワード | 塗布 |
| 仕様・特徴 | 厚膜のレジストを塗布できるスプレーコーター |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-507 |
