飛行時間型二次イオン質量分析装置
| 設備ID | NM-205 |
|---|---|
| 分類 |
表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 二次イオン質量分析
（SIMS）(TOF,磁場など） 質量分析 > 飛行時間質量分析 |
| 装置名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟123号室 |
| メーカー名 | アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI) |
| 型番 | PHI TRIFT V nanoTOF |
| キーワード | 対象試料：無機・有機物 分析用途： ・試料表面から深さ方向に存在するイオンの定量＆分布量測定 ・幅広い質量域 (実質最大：m/z < 10,000)におけるppmオーダーの定量 |
| 仕様・特徴 | ・全二次イオンの同時測定が可能 ・二次イオン・イメージング法：投影モード、操作モード ・Biクラスター・イオン・ビーム搭載 |
