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枚葉式ZEP520自動現像装置

設備ID	UT-506
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	枚葉式ZEP520自動現像装置 (ZEP520 Auto Developing Machine)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	アクテス京三 (Actes Kyosan)
型番	ADE-3000S（Big）
キーワード	現像
仕様・特徴	ZEP520電子線用レジストの自動現像装置