枚葉式ZEP520自動現像装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-506 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | 枚葉式ZEP520自動現像装置 (ZEP520 Auto Developing Machine) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | アクテス京三 (Actes Kyosan) |
| 型番 | ADE-3000S（Big） |
| キーワード | 現像 |
| 仕様・特徴 | ZEP520電子線用レジストの自動現像装置 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-506 |
