レーザー直接描画装置 DWL66+2018
| 設備ID | UT-505 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 装置名称 | レーザー直接描画装置 DWL66+2018 (Laser Drawing System DWL66+2018) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム2 |
| メーカー名 | ハイデルベルグ (Heidelberg) |
| 型番 | DWL66+ (2018，405nm） |
| キーワード | マスクレス露光 レーザー直接描画 h線相当（405nm） |
| 仕様・特徴 | 波長406nm 小片アライメントオプション、両面アライメント機能付き。1024階調の「グレイスケールリソグラフィー」により,フォトレジストの立体形状段差をある程度自由に作れる。また、GenISys社の変換ソフトウェア「BEAMER」を使うと、形状を得るために、近接効果の影響を計算して露光補正が可能。 |
