光リソグラフィ装置MA-6
設備ID | UT-504 |
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分類 | リソグラフィ > 光露光(マスクアライナ) |
装置名称 | 光リソグラフィ装置MA-6 (MA6 Suss 6” Mask Aligner) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
メーカー名 | ズースマイクロテック (SUSS MicroTec) |
型番 | MA6 |
キーワード | マスク露光 |
仕様・特徴 | 精密な位置合わせ(表裏1ミクロン精度)が可能で、欠片から6インチまでの露光が可能なマスクアライナー。普段は混合で利用していますが必要であればi線フィルターをかけることができます。 |