光リソグラフィ装置PEM800
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-502 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ） |
| 設備名称 | 光リソグラフィ装置PEM800 (Photomask aligner PEM-800) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | ユニオン (UNION) |
| 型番 | PEM800 |
| キーワード | マスク露光 |
| 仕様・特徴 | 光によるリソグラフィを行う装置。 いわゆる両面4”マスクアライナーと呼ばれる装置。 マスクは5009、4009、2509サイズを取り付け可能。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-502 |
