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光リソグラフィ装置PEM800

設備ID	UT-502
分類	リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ）
装置名称	光リソグラフィ装置PEM800 (Photomask aligner PEM-800)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	ユニオン (UNION)
型番	PEM800
キーワード	マスク露光
仕様・特徴	光によるリソグラフィを行う装置。いわゆる両面4”マスクアライナーと呼ばれる装置。マスクは5009、4009、2509サイズを取り付け可能。