TEM試料調製システム_ナノミル
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最終更新日：2024年8月28日
| 設備ID | UT-404 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | TEM試料調製システム_ナノミル (NanoMill system) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | フィッショネ (E.A. Fischione Instruments, Inc) |
| 型番 | Model 1040 |
| キーワード | 試料作製、FIB、イオンミリング、透過型電子顕微鏡、TEM、STEM |
| 仕様・特徴 | □主な特長 透過型電子顕微鏡/走査透過型電子顕微鏡用試料の作製装置 FIB加工やイオン研磨によって生じた試料表面のダメージ層の 除去を行い試料の最終仕上げ研磨を行う装置 □主な仕様 ・イオンエネルギー：50～2000eV ・点分解能：2μm（900eV,Cu） ・倍率：100～2000倍 ・ミリングレート：1nm/min □主な用途 ・電子顕微鏡用試料作成 |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-404 |
