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原子直視型超高圧電子顕微鏡

設備ID UT-401
分類 透過電子顕微鏡 > 超高圧電子顕微鏡
装置名称 原子直視型超高圧電子顕微鏡 (Ultra-high voltage electron microscope)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学浅野キャンパス超高圧電子顕微鏡室
メーカー名 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番 JEM-ARM1250
キーワード 透過型電子顕微鏡、TEM、形態観察
仕様・特徴 □主な仕様
(1)本体
加速電圧 : 400、600、800、1,000、1,250kV
電子線源 : 単結晶LaB6
焦点距離 : 8.2mm
球面収差係数 : 1.4mm
色収差係数 : 2.5mm
分解能 : 0.1nm(粒子像)
試料最大傾斜角 : ±35°
真空度 : 7×10-6Pa以下(試料室)
排気方式 : ターボ分子、イオン、クライオポンプ併 用(完全ドライ方式)
(2)電子線損傷低減装置(MDS) 組込
(3)画像記録 シートフィルムおよびイメージングプレート(25μm/ピクセル)
(4)収束電子線回折装置 組込
収束角(2α)/最小スポット径 :
4.0mrad./15nm~2.0mrad./30nm
最大加速電圧 : 1,250kV
最大試料傾斜角 : ±25°
    原子直視型超高圧電子顕微鏡
    原子直視型超高圧電子顕微鏡
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