環境制御マニュアルプローバステーション
| 設備ID | UT-305 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 環境制御マニュアルプローバステーション (Environmental control manual prober station) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス武田先端知ビル |
| メーカー名 | （東陽テクニカ等） (Toyo Corporation) |
| 型番 | ①半導体特性評価システム4200-SCS ②強誘電体特性評価システムFCE1EEA-200型 ③誘電体インピーダンス測定システム1260 ④極低温プローバー装置CPX-VF |
| キーワード | 半導体特性解析 強誘電特性解析 インピーダンス解析 |
| 仕様・特徴 | □ 主な仕様 ・低温プローバ(CRX-4K):6K～350K ・高温プローバ(HCP-401/400)：室温～400度 ・半導体パラメータ測定(4200-SCS型) ・誘電体測定(FCE1EEA-200型) ・インピーダンス測定(ソーラートロン1260) □主な用途 ・ 強誘電体分極評価測定 ・インピーダンス周波数測定 ・キャパシタ周波数測定など |
