分光エリプソメータ
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | UT-303 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 分光エリプソメータ (M-2000DI-T) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス武田先端知ビル |
| メーカー名 | ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam) |
| 型番 | M-2000U |
| キーワード | 複素屈折率測定 膜厚測定 |
| 仕様・特徴 | □ 主な仕様 ・測定波長：193～1690nm ・チャンネル数：690同時計測 ・回転補償子型 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-303 |
