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分光エリプソメータ

設備ID	UT-303
分類	膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称	分光エリプソメータ (M-2000DI-T)
設置機関	東京大学
設置場所	東京大学浅野キャンパス武田先端知ビル
メーカー名	ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam)
型番	M-2000U
キーワード	複素屈折率測定膜厚測定
仕様・特徴	□ 主な仕様・測定波長：193～1690nm ・チャンネル数：690同時計測・回転補償子型