クライオイオンスライサー
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最終更新日：2024年8月28日
| 設備ID | UT-155 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | クライオイオンスライサー (Cryo-Ion slicer) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | IB09060CIS |
| キーワード | 冷却、試料作製、透過走査型電子顕微鏡、高分解能電子顕微鏡、分析電子顕微鏡、元素分析、TEM、STEM、半導体、ナノ材料、金属 |
| 仕様・特徴 | □主な特長 ・熱ダメージを受けやすい試料の断面作製が可能 □主な仕様 ・液体窒素冷却 ・最大試料サイズ：2.8mmL×1.0mmW×0.1mmT ・イオン加速電圧：1～8kV ・ミリングスピード：5μm/min（8kV,Si換算） □主な用途 ・電子顕微鏡用試料作成 |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-155 |
