イオンスライサー
| 設備ID | UT-154 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 装置名称 | イオンスライサー (Ion slicer) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | EM09100IS |
| キーワード | 試料作製、透過走査型電子顕微鏡、高分解能電子顕微鏡、分析電子顕微鏡、元素分析、TEM、STEM、半導体、セラミックス |
| 仕様・特徴 | □ 主な仕様 ・イオン加速電圧：1～8 kV ・傾斜角：最大6°(0.1°刻み) ・試料ガス：アルゴン □ 主な特長 冊状試料にイオン研磨処理を行い、薄膜試料を作製 |
