高分解能走査型分析電子顕微鏡
| 設備ID | UT-102 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-7800F Prime |
| キーワード | 組成分布観察 エネルギー分散型X線分光 カソードルミネッセンス分光 ナノ材料 |
| 仕様・特徴 | □ 主な仕様 （1）本体 加速電圧：0.5～30 kV 0.5～2.9 kVは10 Vステップ 2.9～30 kVは100 Vステップ 二次電子分解能：1.0 nm（加速電圧15kV, 通常時） 1.5 nm（加速電圧1kV, 通常時） 0.7 nm（加速電圧15kV, GB時） 1.2 nm（加速電圧1kV, GB時） 0.7 nm（加速電圧1kV, GBSH時） 倍率：×25 ～ 1,000,000 プローブ電流：10-12 ～ 2×10-7 A （2）エネルギー分散形X線分析装置（JEOL JED-2300F） 検出器：シリコンドリフト検出器 エネルギー分解能：129 eV 検出可能元素：Be ～ U （3）カソードルミネッセンス測定装置（HORIBA MP-32S） 波長測定領域：185 nm ～ 900 nm（PMT） 200 nm ～ 1100 nm（CCD） ※ 光経路が空気中であるため、紫外領域の感度は低減される （4）半導体反射電子検出器（RBEI） （5）走査透過型電子検出器（STEM） |
