共用設備検索結果
MEMS設計ツール(IntelliSuite) (MEMS design tools)
- 設備ID
- RO-132
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![MEMS設計ツール(IntelliSuite)](data/facility_item/1711528884_11.jpg)
- メーカー名
- インテリセンス (IntelliSense)
- 型番
- IntelliSuite
- 仕様・特徴
- 工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。
インビトロシェーカー (inVitro shaker)
- 設備ID
- RO-123
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![インビトロシェーカー](data/facility_item/1711528850_11.jpg)
- メーカー名
- タイテック株式会社 (TAITEC CORPORATION)
- 型番
- Wave-PR2
- 仕様・特徴
- ・振とう方式:波動形揺動(マイルド振とう)
・振とう速度/角度:5~50r/min、2~6°
・架台有効寸法:300×200mm
プログラム・ホットプレート (Program hot plate)
- 設備ID
- RO-122
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![プログラム・ホットプレート](data/facility_item/1711528814_11.jpg)
- メーカー名
- アズワン株式会社 (AS ONE)
- 型番
- EC-1200NP
- 仕様・特徴
- ・16ステップ以内のプログラムを4パターン記憶
・制御可能温度範囲:室温+50 ~ 300℃
・プレート面積:412*312mm
超高精度電子ビーム描画装置 (Ultra high precision electron beam lithography system)
- 設備ID
- RO-111
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![超高精度電子ビーム描画装置](data/facility_item/RO-111.jpg)
- メーカー名
- エリオニクス (Elionix)
- 型番
- ELS-G100
- 仕様・特徴
- 試料サイズ:2~6インチ直径の定型ウエハ
加速電圧:100kV,50kV, 25kV
電子ビームの最小スポットサイズ:ビーム電流1nAにおいて2.0nm以下
最小線幅:6nm
マスクレス露光装置 (Maskless photolithography system)
- 設備ID
- RO-112
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![マスクレス露光装置](data/facility_item/RO-112.jpg)
- メーカー名
- 株式会社ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions, Inc.)
- 型番
- DL-1000
- 仕様・特徴
- 対応wafer:2~4inch、cut wafer他
DMDを用いたレーザー露光装置
最小画素:1μm
マスクレス露光装置 (Maskless photolithography system)
- 設備ID
- RO-113
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![マスクレス露光装置](data/facility_item/1674795009_10.jpg)
- メーカー名
- ハイデルベルグ・インストルメンツ (Heidelberg Instruments)
- 型番
- MLA150
- 仕様・特徴
- 対応wafer:2~6inch、cut wafer他
DMDを用いたレーザー露光装置
レーザ光源:375nm 7.2W 最小画素:1μm
スピンコータ (Spin Coater)
- 設備ID
- RO-121
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![スピンコータ](data/facility_item/RO-121.jpg)
- メーカー名
- タツモ(株) (TAZMO)
- 型番
- 仕様・特徴
- 対応wafer:2inch、cut wafer
レジスト塗布
レイアウト設計ツール (Mask layout design tool)
- 設備ID
- RO-131
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![レイアウト設計ツール](data/facility_item/RO-131Y.jpg)
- メーカー名
- Tanner (Tanner)
- 型番
- L-Edit
- 仕様・特徴
- リソグラフィマスク設計用レイアウトエディター
IC,MEMSデバイス設計用ソフト。Tanner社L-Edit
酸化炉 (Oxidation furnaces)
- 設備ID
- RO-221
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![酸化炉](data/facility_item/RO-221.jpg)
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- 仕様・特徴
- 対応wafer:2inch、cut wafer
最高使用温度1150℃
ドライ酸化、パイロジェニック酸化
Rapid Thermal Anneal装置(RTA) (Rapid Thermal Annealing furnaces)
- 設備ID
- RO-222
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
![Rapid Thermal Anneal装置(RTA)](data/facility_item/RO-222.jpg)
- メーカー名
- サムコ (Samco Inc.)
- 型番
- サムコ製 HT-1000
- 仕様・特徴
- 対応wafer:2inch、cut wafer
昇温速度最大200℃/s(N2, O2)
550℃以上