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低損傷走査型分析電子顕微鏡

設備ID UT-101
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope)
設置機関 東京大学
設置場所 東京大学浅野キャンパス工学部9号館
メーカー名 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番 JSM-7500FA
キーワード 極低加速電圧観察
高分解能組成分布観察
エネルギー分散型X線分光
ナノ材料
無機・有機複合材料
仕様・特徴 □ 主な特長
ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能
□ 主な仕様
・二次電子像分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
・倍率:×25~×1,000,000
・加速電圧:0.1kV~30kV
    低損傷走査型分析電子顕微鏡
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