ハイスループット電子顕微鏡
| 設備ID | UT-006 |
|---|---|
| 分類 |
透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 透過電子顕微鏡 > |
| 装置名称 | ハイスループット電子顕微鏡 (High Throughput Electron Microscope) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JEM-2800 |
| キーワード | 分析電子顕微鏡 高分解能電子顕微鏡 元素分析 電子エネルギー損失分光 エネルギー分散型X線分光 STEM TEM EDS EELS |
| 仕様・特徴 | □ 主な特長 電子顕微鏡観察を自動化。コントラスト＆ブライトネス、試料高さ、結晶方位あわせ、フォーカス、非点補正を自動調整。TEM、STEM、SEM、電子線回折の観察モードを瞬時に切り替え可能。高性能光学系採用により高分解能観察と高速分析を両立している。 □ 主な仕様 ・分解能：二次電子像≦0.5nm,走査透過像 0.2nm,透過像(格子像) 0.1nm ・倍率：二次電子像 ×100～×150,000,000 走査透過像×100～×150,000,000 TEM像×500～×20,000,000 ・ 電子銃：ショットキー型電界放出電子銃 加速電圧 200kV･100kV ・ 試料系：試料傾斜 X軸±25゜Y軸±30゜ ・ 分析：EDS、EELS検出器を装備 |
