軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM）
| 設備ID | UT-002 |
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| 分類 |
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| 装置名称 | 軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM） (Light elements visible ultra-high-resolution scanning transmission electron microscope) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JEM-ARM200F Cold FE |
| キーワード | 原子分解能STEM、STEM-EELS、STEM-EDS、原子分解能元素マッピング、セラミックス、金属触媒微粒子、結晶粒界、半導体デバイス、合金、準結晶、 |
| 仕様・特徴 | □ 主な特長 照射系球面収差補正装置を標準搭載し、機械的・電気的安定度を極限まで高めることで、世界最高の走査透過像(STEM-HAADF)分解能 0.08nmを実現 □ 主な仕様 ・ 加速電圧:200kV、120kV ・ 分解能：走査透過像※ 0.08nm (加速電圧200kV)※環状型暗視野検出器を使用 ・ 倍率：走査透過像 200～150,000,000倍 ・ 透過顕微鏡像 50～2,000,000倍 ・ 収差補正装置：照射系球面収差補正装置 組み込み ・ 検出器：エネルギー分散形X線分析装置 (EDS)、電子線エネルギー損失分光器（EELS）、軽元素対応像検出器、CCD検出器（2k×2k） |
