低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡
設備ID | UT-001 |
---|---|
分類 |
透過電子顕微鏡 > 走査型透過電子顕微鏡 透過電子顕微鏡 > |
装置名称 | 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 (Low-voltage atomic-resolution Scanning Transmision Electron Microscopy) |
設置機関 | 東京大学 |
設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL) |
型番 | JEM-ARM200CF |
キーワード | 低加速電圧 電子線照射損傷 エネルギー関連材料 原子分解能電子顕微鏡 電子エネルギー損失分光 エネルギー分散型X先分光 |
仕様・特徴 | □ 主な仕様 ・冷陰極電界放出電子銃 ・加速電圧: 30 - 200 kV ・分解能: 0.071 nm (200 kV), 0.11 nm (60 kV) ・分析機能: EDS, EELS ・収差補正装置(プローブ補正) ・遠隔操作利用可 |