薄膜断面試料作製装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-518 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（断面加工） |
| 設備名称 | 薄膜断面試料作製装置 (Ion Slicer) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | EM-09100IS |
| キーワード | イオンスライサー |
| 仕様・特徴 | ・イオン加速電圧 1～8 kV ・イオン照射角度 0～6° |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-518 |
