イオンミリング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-512 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | イオンミリング装置 (Ion milling apparatus) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | フィッショーネ・インスツルメンツ社 (Fischone Instruments, Inc.) |
| 型番 | model 1010 |
| キーワード | 電子顕微鏡試料作成 半導体・金属材料 |
| 仕様・特徴 | ダブルイオン銃方式 照射角度 -10°～+10° ミリング角調整機能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-512 |
