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イオンミリング装置

設備ID	TU-511
分類	微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製）
装置名称	イオンミリング装置 (Ion milling apparatus)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学片平キャンパス金属材料研究所
メーカー名	ガタン社 (Gatan Inc.)
型番	PIPSⅡ
キーワード	電子顕微鏡試料作成半導体・金属材料
仕様・特徴	低エネルギー集束電極ペニング形イオン銃2式 -10°～+10° 調整可能 100eV ～8keV