イオンミリング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-510 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | イオンミリング装置 (Ion milling apparatus) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | ガタン社 (Gatan Inc.) |
| 型番 | PIPSⅡ |
| キーワード | 電子顕微鏡試料作成 半導体・金属材料 |
| 仕様・特徴 | 低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式 -10°～+10° 調整可能 100eV ～8keV |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-510 |
