集束イオンビーム加工装置
最終更新日：2024年8月1日
| 設備ID | TU-508 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | 集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System ) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.) |
| 型番 | Versa 3D |
| キーワード | デュアルビームFIB マイクロサンプリング シリアルセクショニング EDS |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧 1 kV～30 kV ショットキー型電界放射電子銃 ・加速電圧 0.5 kV～30 kV Gaイオン銃 ・保護膜形成 Pt蒸着・C蒸着 ・シリアルセクショニング ・反射電子検出器, EDS検出器 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-508 |
