集束イオンビーム加工装置
| 設備ID | TU-507 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 装置名称 | 集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System ) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.) |
| 型番 | Quanta 3D |
| キーワード | デュアルビームFIB マイクロサンプリング |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧 1 kV～30 kV W電子銃 ・加速電圧 5 kV～30 kV Gaイオン銃 ・保護膜形成 W蒸着・C蒸着 |
