低加速高分解能走査電子顕微鏡
| 設備ID | TU-506 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 低加速高分解能走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学片平キャンパス金属材料研究所 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S-5500 |
| キーワード | FE-SEM FEG |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧 0.1 kV～30 kV FE電子銃 ・二次電子像分解能 0.4/1.3 nm (30/1 kV) |
